ООО "ИКС-ПРО" ПРОДУКЦИЯ КОМПАНИИ. РЕНТГЕНОВСКАЯ ТЕХНИКА ЛАБОРАТОРНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНОГО НАЗНАЧЕНИЯ.

Рентгеновский растровый микроскоп (NSXS-100)

Ускоряющее напряжение (кВ) 5 - 100 (30,50,150);

Анодный ток (А) 10^-11 - 10^-3;

Фокальное пятно 30 - 50000 нм;

Номинальная мощность 1 - 2 Вт при 1 мкм электронном фокусе;

Размеры рабочего поля D = 2 - 50 мм;

Материал мишени W, Al, Cu и другие элементы;

Охлаждение жидкостное;

Min. фокусное расстояние (FOD min) 0,5 мм;

Мин. время сканирования (500x500 pixels) 2 с;

Тип вакуумного насоса ионный;

Время откачки 15-30 мин;

Ресурс нити накала 50-1000 ч.

Режимы сканирования : растровый, 1D, 2D, произвольная точка, оконный, увеличение.
Автоматически управляемые параметры: фокусировка, позиция фокуса, ток эмиссии, ускоряющее напряжение.
Возможность магнитной линзы подстраиваться под различные объекты и типы держателя образца.
Возможность установки различных типов детекторов регистрации первичных и вторичных электронов.
Специальное программное обеспечение на PC.

Состав прибора:

• - откачная трубка (170 x 350 x 650 мм, 55 кг);

• - рентгеновское питающее устройство ПУР-100 (110 x 190x 6 кг);

• - блок питания ФОС (100 x 290 x 2 кг);

• - блок питания насоса (110 x 190 x 4 кг);

• - форвакуумный насос.

Растровые рентгенограммы

Отражательная медная мишень ( ширина рисок 30-35мкм).	Прострельная медная мишень ( диаметр бериллиевого окна -2мм, 20кВ
Рентгеновское изображение поверхности вольфрамовой мишени при сканировании электронного пучка по мишени (увеличение » x200).	Рентгеновское изображение поверхности медной мишени при сканировании электронного пучка по мишени (увеличение » x500).
Ферримагнитные включения в органической суспензии	Рентгеновское изображение микросхемы с увеличением » x700).